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美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，可提供0.6T的水平磁场并配备双极电源。该设备广泛应用于直流（DC），射频（RF），MEMS， 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。
该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品*低温度到达13K、<10K、7K或 <4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并**程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。
该系统配有硬涂层铝制真空罩和高抛光的无氧铜防热辐射屏。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。
ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。
The above picture shows the 4 probes connected to the vacuum chamber. This is a side profile of the table top and does not show the cryocooler underneath. | The above picture shows the sample space inside the probe station. |
应用案例：
● 电磁特性
● 微波特性
● 低频，高频特性
● MEMS
●纳米电子学
● 超导特性
● 纳米器件光电性能
● 量子点及纳米线
● 单电子
● 低电流物理特性
特点 | 备注 |
温度范围：< 7K-400K | 其他温区可选 |
样品区0.6T水平磁场 | |
样品区振动优于 1微米 | |
12英寸×5英寸不锈钢真空室 | |
5.5英寸 × 2.875英寸镀镍无氧铜防热辐射屏 | |
1英寸方形镀金无氧铜样品台 | |
高纯石英观察窗 | |
蓝宝石防热辐射屏冷窗 | |
多至4个三维微操作探针臂 | |
可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂 | |
控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器 | 温度计安装位置： 1、冷头温度计，用于诊断 2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温 3、样品温度计，用于精确测量样品温度 4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样 |
7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源 | 可升级16:1显微观察系统 |
规格及技术参数 | |
制冷方式 | 闭循环制冷，无需液氦 |
温度范围 | 7K-400K （可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 < 4K，安装高温隔热台高温度可达800K） |
磁场范围 | -0.6T至+0.6T |
磁体型号 | GMW5403EG 磁场方向水平方向 极面76毫米 水冷需求：2升/分钟，0.8bar 电源：双极型电源 电压±20V 电流±40A 高斯计：LS475DSP 霍尔传感器LS HGCT-3020 |
温度稳定性 | 优于50mK |
泵抽真空时间 | 机械泵约45分钟 分子泵约10分钟 |
降温时间 | 约2.5小时至10K（DE204P冷头） |
真空腔 | 无磁不锈钢真空腔 12英寸×5英寸 上盖安装高纯石英窗口 |
防热辐射屏 | 镀镍无氧铜防热辐射屏 5.5英寸 × 2.875英寸 上盖蓝宝石冷窗 热连接至1级冷头 |
样品台 | 镀金无氧铜样品台 1英寸方形 接地（标准） 绝缘（可选） 偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选） 偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选） |
探针臂位移台 | 手动驱动 不锈钢焊接波纹管连接 X方向（轴向）2英寸行程 Y方向（横向）1英寸行程（标准） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 灵敏度5微米 |
振动 | 三级减震，振动小于1微米 |
温度计安装 | 4个温度计，2套加热器 4个温度计位置： 1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温 1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断 1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置： 1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温 1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温 |
显微观测系统 | 标准7:1显微镜 4.2毫米-0.61毫米视野 工作距离：89毫米 数值孔径：0.024-0.08 光源：环形光源 分辨率：3微米 安装手动三维位移台 高分辨率24英寸显示器 可选16:1显微镜 12.8毫米-0.8毫米视野 工作距离：89毫米 数值孔径：0.0090-0.15 光源：环形光源 分辨率：2微米 安装手动三维位移台 高分辨率24英寸显示器 |
探针臂 | |
直流/低频探针臂 | 微型同轴电缆 接头：SMA或BNC 频率：0-100兆赫兹 阻抗：50欧姆 包含接地屏蔽接头 三同轴电缆 接头：三同轴接头 频率：0-100兆赫兹 阻抗：50欧姆 卡尔文探针 电缆：同轴或三同轴 接头：SMA/BNC/三同轴 频率：0-100兆赫兹 针尖材料： 钨针（标准） 镀金钨针（可选） 铍铜镀金（可选） 针尖半径： 0.5微米（其他半径可选） |
GSG高频探针臂 | 0-40GHz 接头：K型接头 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz 接头：2.4 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz 接头：1.85 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 |
光纤探针臂 | 紫外/可见 或 可见/红外 接头：SMA905公头 光纤样品端：抛光裸头 尺寸：100微米-400微米 单模或多模 |
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