我司在清华大学顺利完成美国ARS无液氦超稳超低振动超高真空型低温恒温器与客户STM系统的集成验收工作

近日我司在清华大学顺利完成美国ARS（ADVANCED RESEARCH SYSTEMS）无液氦超稳超低振动超高真空型低温恒温器与客户扫描隧道显微镜STM（scanning tunneling microscope)系统的集成验收工作，该款低温恒温器是世界上**用于扫描隧道显微镜STM（scanning tunneling microscope)的无液氦闭循环系统，可实现样品~7-350K（低温可选＜3.5K，高温可选800K）温区内连续变温测试。

该款低温恒温器运行过程中完全无需液氦，纳米级的超低振动使其成为低温变温扫描隧道显微镜STM（scanning tunneling microscope)，扫描电子显微镜SEM（scanning electron microscope），原子力显微镜AFM(Atomic Force Microscope)，扫描探针显微镜SPM等测试的**。

该款系统完全不受液氦供应限制，相比较液氦系统操作简单方便，只需要几个按钮就可以实现样品的低温变温测试。

X-20B超低振动超精细闭循环低温恒温器主要用于UHV环境。ARS生产的X-20B恒温器是真正的UHV系统，真空度可达10-11 Torr，该产品全部用焊接接头及金属密封替换橡胶O圈密封，并在制冷机上直接焊接CF法兰。

X-20B系列恒温器的冷头可以直接从该系统上移除且不会破坏系统真空度，所以X-20B系统的另一个优势就是可以轻松烘烤到200℃。

X-20B系列恒温器使用氦气交换冷却样品，系统振动级别仅为3-5nm，样品处*低温度可达3.5K，**温度可达800K。

应用实例

• 低振动UHV应用

• 显微实验

• 表面物理

• 纳米材料

典型特点

• 3-5 nm超低振动

• 10-11 Torr真正的超高真空环境

• 移除冷头可烘烤至200℃

• 开放的样品空间

• 冷头朝下放置

• 可根据客户要求进行定制